一种谐振式NO2气体传感结构及其制备方法、测试系统、测试方法.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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一种谐振式NO2气体传感结构及其制备方法、测试系统、测试方法.pdf

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本申请实施例提供一种谐振式NO2气体传感结构，包括：栅极基底；绝缘层：设置于栅极基底上；电极层：设置于绝缘层上，主要由间隔位于绝缘层上的源极电极和漏极电极构成；沟道：设置于绝缘层上，且位于源极电极和漏极电极之间；石墨烯单层薄膜：设置于电极层上，且悬浮于沟道的上方；本申请中的气体传感结构，结构和制备工艺简单，制备成本低，功耗低，气体质量灵敏度高，兼容性强利于集成，能够实现批量化制备。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116337995 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310374459.7 (22)申请日 2023.04.10 (71)申请人中北大学