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本发明公开了石英深孔球底加工方法，包括以下几个步骤：用平底刀具在石英工件上加工出深孔；向深孔中加入适量的研磨液，用球底刀具在石英工件上深孔底部继续加工出球底孔，该加工方法球使得形刀具不直接接触石英工件，借助研磨砂的切屑力进行切屑，使得切屑效果大大增强，也减少了球形刀具的磨损，提高产品加工良率，保证球底加工相对规则以及产品加工后的一致性。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116330126 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310333348.1 (22)申请日 2023.03.28 (71)申请人 宁波云德半导体材料有限公司 地址
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