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本发明公开了退火炉氢尾气回收装置,包括三通自动调节阀,其设置在所述退火炉体的上端,所述退火炉体的一侧设置有罗茨风机,所述罗茨风机的一侧设置有第一缓冲罐;压缩机,其设置在所述第一缓冲罐的一侧,所述压缩机的一侧设置有精过滤器,所述精过滤器的一侧设置有脱氧器,所述脱氧器的一侧设置有净化脱水器,所述净化脱水器的一侧设置有冷却器;回流管道,其设置在所述第一缓冲罐与氢气母管之间,该尾气回收装置将尾气收集再进行净化提纯,能对回收后气体的质量进行检测,合格的气体通过供氢管道进入机组内循环使用,达到资源重复利用,
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116328432 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310510558.3 (22)申请日 2023.05.08 (71)申请人 上海振世能源科技
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