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本发明公开了一种用于制造太阳能电池板的硅料加工装置，涉及硅料加工技术领域，包括切割组件、清洗组件、干燥组件、搬运机械手，搬运机械手设置在切割组件一侧，清洗组件设置在搬运机械手远离切割组件的一侧，干燥组件设置在清洗组件远离搬运机械手的一侧，干燥组件和清洗组件相互连接。本发明的承载台利用切割过程中泄露处的吸附孔作为气流通道，将外部气流导入覆盖罩内部，气流导入的过程中一方面清洗了切割缝隙中混有的碎屑，另一方面还将切割缝隙通过压力差值复位，极大程度的提升了切割精度。在切割结束后，承载台又通过气流排出的过
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116330505 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310391338.3 (22)申请日 2023.04.13 (71)申请人 先恩光电 （苏州）有限公司 地址
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