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本发明公开了一种包含多种光源下的可变微结构的激光诱导石墨烯加工工艺，此工艺根据聚酰亚胺薄膜对不同波长光源的透光率不同的特点，结合深紫外光对薄膜表面改性处理，实现在薄膜正面、背面抑或是双面诱导石墨烯。同时根据不同功率密度激光可在聚酰亚胺表面诱导不同微结构石墨烯的特点，实现加工含有不同微结构的双层石墨烯电路。另一方面，依据上述特点，通过在改性薄膜表面涂敷新的聚酰亚胺薄膜并使用高透光率光源照射的方式，提出一种先封装后加工石墨烯电路的方法。最后将表面处理与光刻技术相结合，提出一种电路特征尺寸小于10μm
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116281974 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310283622.9 (22)申请日 2023.03.22 (71)申请人 西安交通大学
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