TIN拉回和清洁组合物.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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本发明涉及一种可用于控制TiN相对于W的蚀刻速率且从表面移除任何残余物，例如可能含有氟(F)的有机或无机残余物的新组合物，该组合物包含a)脂族或芳族磺酸；b)一种或多种抑制剂；c)非质子性溶剂；d)二醇醚；和e)水。本发明还涉及一种包含该组合物与氧化剂和任选地该氧化剂的稳定剂的组合的套组，及其用途。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116286222 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310303019.2 C11D 7/04 (2006.01)