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一种气体静压平板双面平行度测量仪及其测量方法，属于超精密检测技术领域。电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ关于盘型零件上下对称设置，且位于气浮转台同一侧，电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ的中心线位于同一平面。对气浮转台供气，待盘形零件平稳运行后，电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ同步采集数据，可以得到盘型零件与中心轴线距离为r的某一处环面的精度，改变r的值，生成多组数据，对整个盘形零件的上下两面平行度和两面的平面度进行综合分析。本发明避免了传统接触式测量时接触力等对测量精度的影响，电容探头Ⅰ和电容探头Ⅱ在气浮转台工作时，同时进行数
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116294978 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310302902.X (22)申请日 2023.03.24 (71)申请人 哈尔滨工业大学 地址 15000
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