一种抑制自热效应的氮化镓器件及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种抑制自热效应的氮化镓器件及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种抑制自热效应的氮化镓器件，包括：金刚石衬底、石墨烯层、氮化镓缓冲层、P型氮化镓层、铝镓氮势垒层、钝化层、金刚石散热层、漏极、栅极和源极；金刚石衬底、石墨烯层和氮化镓缓冲层由下至上依次设置；漏极和源极分别位于氮化镓缓冲层上；铝镓氮势垒层位于漏极和源极之间；钝化层位于铝镓氮势垒层的表面；栅极下端穿过钝化层与铝镓氮势垒层接触；P型氮化镓层位于氮化镓缓冲层内部；金刚石散热层位于钝化层的表面。本发明还提供一种抑制自热效应的氮化镓器件的制备方法，本发明从提高器件散热能力和调制栅漏电场两个维度

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116314268 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310280147.X H01L 21/336 (2006.01)