控制装置和存储介质.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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控制装置和存储介质.pdf

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本发明提供一种控制装置和存储介质。提供能够抑制基板的周缘部处的斜切处理的切割宽度的变动的技术。基板处理装置向旋转的基板的周缘部赋予处理液。基板处理装置具备旋转保持部、处理液喷出部、变动幅度获取部以及喷出控制部。旋转保持部保持基板而使基板旋转。处理液喷出部向被旋转保持部保持着的基板的周缘部喷出处理液。变动幅度获取部获取与基板的周缘部的变形量的变动幅度有关的信息。喷出控制部根据由变动幅度获取部获取的与周缘部的变形量的变动幅度有关的信息来控制来自处理液喷出部的处理液相对于周缘部的喷出角度和喷出位置。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116313913 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310277516.X (22)申请日 2017.09.05 (30)优先权数据