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本发明公开了一种用于光学晶体表面防潮抗污染减反膜的制备方法，采用正硅酸乙酯为原料，采用溶胶‑凝胶法制备硅溶胶颗粒，然后以含氟硅氮烷为改性剂，对二氧化硅表面进行化学接枝，得到溶胶进行处理后对光学晶体表面镀膜得到减反膜，无需热处理。该减反膜表面有很低的自由能，表现出很高的疏水疏油性能，可以保证其本身与光学晶体在使用过程中不被污染物侵蚀，并在长时间使用过程中保持很高的透过率，并且该减反膜无需高温处理，拓宽了该减反膜的应用范围。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116285441 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310301820.3 (22)申请日 2023.03.27 (71)申请人 济南智和弘盛光电
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