一种双轨道自定位夹爪卡盘.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种双轨道自定位夹爪卡盘.pdf

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本发明属于夹具技术领域，具体涉及一种双轨道自定位夹爪卡盘，轨道盘在所述轨道盘的上表面设置有三个径向滑槽；套筒罩设于轨道盘的上方；所述第一轨道槽呈倾斜于套筒的周向和径向；三个夹爪均设置于所述套筒的上方，各个夹爪的柄部分别穿过对应第一轨道槽并与对应的滑块相连；套筒相对于轨道盘转动时，三个夹爪在第一轨道槽的导向作用下，相互聚拢或相互散开；多个定位开关设置于套筒上方且高于夹爪，且通过分别的立柱与轨道盘相连。本方案在夹爪卡盘上加装定位开关，其能够在实现夹取定位的同时，还能够在晶圆在夹取或松开时，防止轨道盘

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116276642 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310287310.5 (22)申请日 2023.03.22 (71)申请人西南交通大学地址 610000