一种单晶硅加工用高温炭还原装置.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种单晶硅加工用高温炭还原装置.pdf

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本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，且公开了一种单晶硅加工用高温炭还原装置，包括底座，底座顶端由导柱固定安装有顶板，底座顶端安装有保温箱，保温箱内部安装有石英坩埚，顶板底端安装有液压杆，液压杆底端安装有移动板，移动板底端安装有顶盖，顶盖底端设置有滑槽。该单晶硅加工用高温炭还原装置，通过螺纹杆驱动滑块带动移动竖板与挡板进行移动，配合固定竖板能够将单晶硅夹持在顶盖底端，且能够将单晶硅平躺式的放置于石英坩埚内部，使其与石英坩埚内部的热量充分接触，受热更均匀，此结构不仅解决了现有技术采用电动伸缩杆不耐高温

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219239837 U (45)授权公告日 2023.06.23 (21)申请号 202320779993.1 (22)申请日 2023.04.10 (73)专利权人内蒙古赛宝伦科技有限公司地址