一种镀铜聚合物膜的制备方法及使用的装置.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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一种镀铜聚合物膜的制备方法及使用的装置.pdf

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本发明涉及薄膜表面金属化技术领域，尤其涉及一种镀铜聚合物膜的制备方法及使用的装置。本发明提供的镀铜聚合物膜的制备方法：将高能铜离子束注入聚合物膜表面，聚合物膜表面形成聚合物‑铜混合层，所述高能铜离子束的束流强度≥10mA；将低能铜离子束沉积在所述聚合物‑铜混合层表面，形成第一铜层，所述低能铜离子束的束流强度＜10mA；采用电子束蒸发，在所述第一铜层表面沉积第二铜层；将低能锡离子束沉积在所述第二铜层表面，形成锡抗氧化层，所述低能锡离子束的束流强度＜10mA，得到镀铜聚合物膜。本发明提供的制备方法能

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288162 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310289321.7 (22)申请日 2023.03.23 (71)申请人珠海凯赛奥表面技术有限公司地址