透射光振幅、相位和偏振独立调制超表面器件及调制方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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透射光振幅、相位和偏振独立调制超表面器件及调制方法.pdf

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本发明提供了一种透射光振幅、相位和偏振独立调制超表面器件及调制方法，包括三层金属结构层和两层中间介质层，每两层所述金属结构层之间设有所述中间介质层，所述金属结构层为金属微纳结构阵列，所述金属微纳结构阵列的顶层和底层为相互垂直的金属光栅阵列，所述金属微纳结构阵列的中间结构为沿与所述金属光栅阵列方向角呈45°方向对称的金属劈裂环天线。本发明通过控制不同的三层金属超表面的几何参数，可以对透射光的振幅、相位和偏振进行独立的调控，对以上三个性质的调制分别由独立参数控制，互相不影响，可以独立进行。调制效率可

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116299803 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310283471.7 (22)申请日 2023.03.21 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 1