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本申请公开了一种多层结构材料效应管的制备方法，包括以下步骤：生长多层结构材料：在衬底上生长多层结构材料；源漏电极制作：在多层结构材料表面定义源电极区域和漏电极区域，对两区域分别蒸镀金、钯、铂、银、铝、镍中的至少一种制作金属层，以该金属层制作源漏电极并建立欧姆接触；介质层制作:从多层结构材料上表面进行逐层的材料变性，变性层数大于2层且小于多层结构材料的总层数，经过变性的单层结构材料形成用于隔离底部未变性单层或多层结构材料的介质层；栅介质层和栅电极制作。通过多种材料改性方法，形成数层经过改性的多层结
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116322066 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310295832.X (22)申请日 2023.03.24 (71)申请人 中国电子科技集团公司第五十五研
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