低氧含量钼铌合金靶材及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-26 发布于四川
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低氧含量钼铌合金靶材及其制备方法.pdf

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本发明实施例公开了低氧含量钼铌合金靶材的制备方法，包括步骤：(1)取设定量的金属铌粉、金属钼粉和氟化铝添加剂，混合得到混合料；(2)将得到的混合料模压成型，得到钼铌合金靶材生坯；(3)将得到的钼铌合金靶材生坯在升高的压力下进行压制；(4)依照设置的升温机制升温，压制后的钼铌合金靶材生坯在升高的温度下烧结，烧结保温设定时间后，冷却，得到低氧含量钼铌合金靶材。低氧含量钼铌合金靶材的制备方法利用氟化铝添加剂作为除氧剂，在靶材生坯烧结过程中，利用氟化铝与五氧化二铌反应，生成易升华的产物，有效降低了产物中

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288187 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310292353.2 (22)申请日 2023.03.23 (71)申请人郑州大学