洁净室培训南玻集团管理资料.ppt

* 洁净室的说明 CF新项目组 2004年3月 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第一页，共二十九页。 洁净室的必要性 为了避免生产过程中出现污染和腐蚀，空气当中的细小微粒和微生物数量必须减到最小，于是，洁净室技术现在成为了许多工业的基本要求。 洁净室设备用于微电子工业、半导体、精密机械、制药业、塑料制品和食品加工业等各个领域。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第二页，共二十九页。 洁净室简介 洁净室的洁净度用洁净等级来表示，分别为10级、100级、1000级、10,000级、100,000级。数值越小则净化度越高，例如：100级高于 1000级、1000级高于10000级等。在不同级的洁净室中，1立方英尺体积中所含的粉尘数不同（指粒度 0.3um的粉尘)。 以万级洁净室为例，其空气的洁净度比100级洁净室低100倍。洁净级别高的洁净室内空气压力也高。一旦打开不同级别间洁净室的门，空气会从洁净度高的室流向洁净度低的室，这样高洁净度的室不会被污染。尽管如此，还是应避免经常打开不同级别洁净室间的门。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第三页，共二十九页。 进入洁净室的空气须经过初效过滤器、中效过滤器及高效过滤器并用高压风机吹入。经过这三级过滤后，大于0.3um的粉尘被去除了99．97%以上。洁净级的高低取决于洁净室中高效过滤器分布的疏密。100级洁净室的天花必须满布高效过滤器，10000级洁净室则满布中效过滤器。 在空调洁净等硬件设施一定的情况下，洁净室中的粉尘来源于人的占80%，来源于通风的占15%，其余的5%来源于建筑物。人本身就是一个重要的污染源，人身着普通服装走动时每分钟所发出的粉尘量约为300万粒，经过风淋室可除去其10~30%的粉尘。因此进入洁净室的人必须按规定的方式穿戴净化工作服并经过风淋室。绝对禁止同时打开风淋室的两道门。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第四页，共二十九页。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G 粉尘微粒子的比较 10,000 1,000 100 10 1 0.1 0.01 0.001 微粒子直径(um) 电磁波 气象用语 代表粒子 过滤器除去 粒子范围 X线 紫外线 可见光 近红外线 远红外线 太阳辐射 烟雾 云 雾 雨 微波 普通过滤器 高效过滤器（0.3um粒子除去率：99.97%以上） 超高效过滤器（0.1um粒子除去率：99.999%以上） 人的头发 油烟 涂料 香烟的烟 病原菌 细菌 人眼能看到的最小尺寸：10um 0.3um粒子 人的头发：100um 0.1um粒子 * 第五页，共二十九页。 洁净室场景 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第六页，共二十九页。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G 洁净室的构造方式 垂直气流型( Class 1～100 ) 水平气流型 ( Class 100 ) 乱流型 ( Class 1,000～100,000 ) 混流型( Class 1,000～100,000 ) * 第七页，共二十九页。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第八页，共二十九页。 垂直气流型 ( Class 1～100 ) 洁净的气流由上向上方吹出，经下方空心楼板回风处理，循环使用。 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G * 第九页，共二十九页。  CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G 风机过滤单元系统 安装在洁净室天花板龙骨架上的直流FFU系统 风机过滤器系统( Fan Filter Units ) FFU为低噪音、高效率的最佳除尘系统，能够方便的为洁净室提供高质量的过滤空气。 * 第十页，共二十九页。 洁净室管理的四大原则 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G 不带入 不产生 不堆积 排除 * 第十一页，共二十九页。 不带入的具体内容 CSG TECHNOLOGY HOLDING CO., LTD. S G 要先更换净化服后，再经由风淋室才可入洁净室。 设备和物料要清洗干净后才可带入。 * 第十二页，共二十九页。 最大的一个污染源就是人在进入洁净室过程中，附在衣服、鞋子，以及材料表面的颗粒。 用高速喷射的洁净空气对人身衣饰或携带