半导体薄膜的加工方法、装置、系统和计算机设备.pdfVIP

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2023-06-25 发布于四川
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半导体薄膜的加工方法、装置、系统和计算机设备.pdf

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上述半导体薄膜的加工方法、装置、系统和计算机设备，基于预设厚度确定参考半导体薄膜的第一加工模型；其中，所述参考半导体薄膜的衬底片为硅片；基于所述预设厚度以及目标半导体薄膜的第一预设衬底片数确定所述目标半导体薄膜的第二加工模型；其中，所述目标半导体薄膜的衬底片为碳化硅片；基于所述第一加工模型以及第二加工模型确定目标加工模型；控制化学气相沉积工艺设备基于所述目标加工模型对所述目标半导体薄膜进行加工。上述方法，基于第一加工模型和第二加工模型的关系，获取目标加工模型，以准确度高的第一加工模型为基准，获取

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288253 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310150187.2 (22)申请日 2023.02.09 (71)申请人浙江大学杭州国际科创中心地址