硅料的投料方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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硅料的投料方法.pdf

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本发明涉及一种硅料的投料方法，其包括：S1、选择尺寸在第一预设区间范围内的硅料作为第一类硅料，选择尺寸在第二预设区间范围内、且具有圆滑表面的硅料作为第二类硅料，其中所述第一预设区间范围的最小值大于所述第二预设区间范围的最大值；S2、将所述第一类硅料及所述第二类硅料装入装料空间，所述第二类硅料至少部分占据所述第一类硅料之间的空隙；S3、将所述装料空间内的所述第一类硅料及所述第二类硅料投入坩埚；S4、若投入不满足所述坩埚预设的投料需求，重复步骤S2、步骤S3，直至满足所述投料需求停止投料。本发明提高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113430639 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110712328.6 (22)申请日 2021.06.25 (71)申请人江苏协鑫硅材料科技发展有限公司