一种判断砷化镓晶体中线性孪晶长度的方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种判断砷化镓晶体中线性孪晶长度的方法.pdf

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本发明公开一种判断砷化镓晶体中线性孪晶长度的方法，包括以下步骤：S1.预处理晶片，测量晶片头部一端线性孪晶的任意一端点到晶片侧面的垂直距离；S2.根据线性孪晶和晶体角度偏转的方向和角度有关联性，得出线性孪晶长度计算公式；S3.通过计算的切割长度，按照切割的长度，对待检测晶片切除相应的孪晶。本发明的方法推算出一种切除长度的方法，改变了传统采用分肉眼识别及经验判断来切除线性孪晶；可以一步到位计算出线性孪晶所需切除长度，减少返工次数及重复返工可能造成的晶体有效长度损耗，大大地提高了生产效率及产品质量及

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113427651 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110709208.0 (22)申请日 2021.06.25 (71)申请人广东先导微电子科技有限公司