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本发明提供了一种可变角度的固晶方法、系统及固晶机，该固晶方法包括：步骤1：根据摆臂的摆动角度，控制晶圆环旋转指定角度；步骤2：控制摆臂摆动至晶圆环位置，控制晶圆环进行横向和/或纵向的移动，使晶圆环上的单颗晶圆与摆臂上安装的固晶头对准，通过摆臂上安装的固晶头吸取晶圆环上的晶圆；步骤3：控制摆臂摆动至基板位置，控制基板进行横向和/或纵向的移动，使基板上的固晶点与晶圆对准，通过固晶头将晶圆固定在基板上。本发明的有益效果是：本发明在不增加摆臂长度的情况下，使摆臂不是摆动180度，两个摆臂可根据设定的角度
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113437005 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110679902.2 (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人 深圳市卓兴半导体科技有限公司
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