一种微波等离子气相沉积金刚石的设备.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种微波等离子气相沉积金刚石的设备.pdf

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本发明公开了一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉，所述反应炉内设置有反应腔，且反应炉的顶部设置有与反应腔相连通的转换器，所述转换器上连接有微波发生器，所述反应腔内设置有沉积基片台，且反应腔内壁设置有折射板，所述反应腔内壁与沉积基片台相对应位置设置有环形管，所述环形管上设置有气孔，所述反应炉的外侧设置有输气管，所述输气管通过连接装置与环形管相连通，所述连接装置包括安装在反应炉外表面的固定架以及安装在输气管上的连接架。本发明中，通过设置的连接装置，既能保证输气管路能够便捷稳定的对接安装到反

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113430499 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110677872.1 (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人湖南良诚新材料科技有限公司