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本发明提供一种基于聚合物薄膜和聚合物微腔的光纤传感器及制作方法，该传感器包括聚合物支架以及用于传输信号的石英光纤，聚合物支架具有空腔，聚合物支架的一端通过聚合物胶黏剂与石英光纤的一端连接，形成一个聚合物微腔，在聚合物微腔内靠近于聚合物支架的另一端设有聚合物薄膜；石英光纤的一个端面上镀有第一反射膜，聚合物薄膜表面镀有第二反射膜，第一反射膜与第二反射膜相对设置构成聚合物微腔的两个发射面。本发明的方法应用于上述的光纤传感器。本发明基于聚合物材料设计的薄膜和微腔，具有较低的杨氏模量，对外界的超声信号具有
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113432631 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110804396.5 (22)申请日 2021.07.16 (71)申请人 深圳技术大学 地址
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