一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法.pdf

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一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法，其特征是：根据金属电加热丝形状，设计制作第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板用于刻蚀电加热丝内部区域，第二掩膜板用于刻蚀电加热丝外部区域；同时制作平板式金属材质阴极；在硅胶薄膜上贴覆金属箔片，形成待刻蚀电加热薄膜；将第一掩膜板压紧待刻蚀电加热薄膜，对加热薄膜上的电加热丝进行刻蚀；然后采用第二掩模版替换掉第一掩模版，再次对电加热丝进行刻蚀，最终获得所需电加热丝线路。本发明环保性好，掩模板可重复使用，且无需对每一个金属箔片贴覆感光胶和曝光，工艺简单，能够有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113430636 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202110781991.1 (56)对比文件 (22)申请日 2021.07.12