形成微电子装置的方法以及相关微电子装置、存储器装置和电子系统.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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形成微电子装置的方法以及相关微电子装置、存储器装置和电子系统.pdf

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本申请案涉及形成微电子装置的方法以及相关微电子装置、存储器装置和电子系统。微电子装置包括堆叠结构、阶梯结构、导电衬垫结构和导电接触结构。所述堆叠结构包括布置于层次中的竖直交替的导电结构和绝缘结构。所述层次中的每一个分别包括所述导电结构中的一个和所述绝缘结构中的一个。所述阶梯结构具有包括所述堆叠结构的所述层次中的至少一些的边缘的台阶。所述导电衬垫结构处于所述阶梯结构的所述台阶上并且包括贝塔相钨。所述导电接触结构处于所述导电衬垫结构上。还描述存储器装置、电子系统和形成微电子装置的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394224 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110259233.3 H01L 27/1157 (2017.01)