有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明通过在将所述承载室的环境设置为大气环境，并将承载室空载后装载至石英反应腔室中；增加所述石英反应腔室的温度至预设温度，所述大气环境中的氧气与残留物膜层的表面析出有固体的N型离子反应形成杂质气体，并在石英反应腔室的腔室壁上形成硅氧薄膜；以及将石英反应腔室中的所述杂质气体抽出，使得石英反应腔室的腔室壁上析出的N型离子气化并得以去除，以及硅氧薄膜的绝缘作用，避免和阻止磷掺杂硅生产过程中，石英反应腔的残留物薄膜表面析出固态的磷，从而降低了由于磷析出后扩散至晶圆表面产生颗粒残留物污染，还可以延长使用三
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388893 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110654052.0 (22)申请日 2021.06.11 (71)申请人 广州粤芯半导体技术有限公司
文档评论（0）