具有改进的保质期的可用作硬掩膜和填充材料的含无机氧化物组分和炔氧基取代的旋涂碳组分的旋涂组合物.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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具有改进的保质期的可用作硬掩膜和填充材料的含无机氧化物组分和炔氧基取代的旋涂碳组分的旋涂组合物.pdf

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本发明涉及组合物，其包含：组分a)、b)和d)；其中，组分a)是具有结构(I)的金属化合物，组分b)是旋涂高碳聚合物，其具有包含单环芳烃、稠环环烃部分或它们的混合的聚合物主链，具有约81wt％至约94wt％的碳的wt％，在旋涂溶剂中可溶解至至少约5wt％，并且其中存在于所述旋涂高碳聚合物中的所述单环芳烃部分或所述稠环环烃部分中的至少一个被至少一个结构(VIII)的炔氧基部分所官能化，并且组分d)是旋涂溶剂。本发明进一步涉及在制造电子器件的方法中使用这样的组合物，所述方法通过在半导体基底上形成包含

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113412533 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202080013446.1 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所