单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法.pdf

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本申请公开了一种单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，其中所述敏感层的上表面设置有一加热器和四个热敏电阻；加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。本发明中四个热敏电阻构成等臂电桥，四个桥臂作为工作臂均参与敏感热气流

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113405542 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110560713.3 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人北京信息科技大学地址