一种高收集效率的扫描电镜电子探测器.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.6千字
约 10页
2023-06-22 发布于四川
举报
版权申诉

一种高收集效率的扫描电镜电子探测器.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种高收集效率的扫描电镜电子探测器，其提高二次电子或者背散射电子的收集效率、能够进一步改善图像的信噪比和分辨力。其包括：栅网；法拉第杯；闪烁体；光导柱；光电倍增管；高压电源；电流放大电路板；不锈钢外壳；法拉第杯的电子信号输入端设置有外凸的筛网，法拉第杯的电子信号输出端朝向闪烁体布置，闪烁体的光子信号输出端朝向光导柱的输入端布置，导管柱的输出端连接至光电倍增管的信号输入端，光电倍增管的信号输出端连接电流放大电路板的信号输入端，光电倍增管连接有高压电源；不锈钢外壳内包覆有高压电源、光电倍

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113421813 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110823237.X (22)申请日 2021.07.21 (71)申请人无锡量子感知技术有限公司