一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统.pdf

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本发明属于低温制冷设备技术领域，具体为一种带有主动式振动衰减结构的无液氦低温制冷系统。本发明制冷系统包括闭循环制冷机、主动式振动衰减系统、低温运行设备、低温屏蔽罩和真空腔体；主动式振动衰减系统包括固定支架、振动传感器、主动式振动衰减器和振动衰减系统控制器;主动式振动衰减器、振动传感器均与振动衰减系统控制器电连接；闭循环制冷机的制冷头伸入制冷隔振界面内，制冷头和制冷隔振界面间填充氦气，闭循环制冷机与制冷隔振界面的之间通过密封波纹管连接密封；低温运行设备放置在真空腔体内并与制冷隔振界面的低温端连接。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113405270 B (45)授权公告日 2022.08.19 (21)申请号 202110535735.4 F16F 15/02 (2006.01)