GB/T 26111-2023微机电系统(MEMS)技术　术语.pdf

ICS31.080.99 CCSL59 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26111 2023 代替 / — GBT26111 2010 微机电系统( )技术 术语 MEMS — Micro-electromechanicalsstemtechnolo Terms y gy ( : , — IEC62047-12016Semiconductordevices Micro-electromechanical — : , ) devices Part1TermsanddefinitionsMOD 2023-05-23发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT26111 2023 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 3.1 通用术语和定义 …………………………………………………………………………………… 1 3.2 与科学和工程有关的术语和定义 ………………………………………………………………… 2 3.3 与材料科学有关的术语和定义 …………………………………………………………………… 3 3.4 与功能元件有关的术语和定义 …………………………………………………………………… 3 3.5 与加工技术有关的术语和定义 …………………………………………………………………… 7 3.6 与键合和装配技术有关的术语和定义 …………………………………………………………… 12 3.7 与测量技术有关的术语和定义 …………………………………………………………………… 14 3.8 与应用技术有关的术语和定义 …………………………………………………………………… 15 ( ) / — ……………………………… 附录 资料性 本文件与 相比的主要技术变化 A