一种薄膜体声波谐振器和高频射频器件.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种薄膜体声波谐振器和高频射频器件.pdf

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本发明涉及谐振器技术领域，具体涉及一种薄膜体声波谐振器和高频射频器件。该薄膜体声波谐振器中，衬底沿其上设置的空腔的开口方向依次层叠设置有第一介电层、第二介电层、第一绝缘层、顶电极层、压电层、底电极层和第二绝缘层；第一绝缘层和顶电极层从空腔的一侧延伸至空腔的开口上方；第一绝缘层和顶电极层位于空腔的开口上方部分的宽度均小于空腔的宽度；压电层和底电极层从空腔的相对的另一侧延伸至空腔的开口上方；压电层和底电极层位于空腔的开口上方部分的宽度均小于空腔的宽度。本发明可以通过调整空腔的深度，调整薄膜体声波谐振

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113395051 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110780093.4 (22)申请日 2021.07.09 (71)申请人赛莱