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本发明公开一种含铌的金属有机化合物的制备方法,具体包括以下步骤:S1、将NbCl5分散于甲苯中,然后加入少量醚,待固体全部溶解后得到体系Ⅰ;S2、将体系Ⅰ冷却,向体系Ⅰ缓慢滴加HNR2R3,滴加完毕后恢复室温并持续搅拌,形成体系Ⅱ;S3、控制体系Ⅱ温度,向体系Ⅱ中慢慢滴加R1NH2,搅拌形成体系Ⅲ;S4、将体系Ⅲ温度降低,向其中缓慢加入R4Li,搅拌形成体系Ⅳ;S5、将体系Ⅳ过滤,浓缩,得到体系Ⅴ;S6、将体系Ⅴ用非极性溶剂清洗、萃取,再过滤、浓缩、减压蒸馏,得到粗品R1N=Nb(NR2R3)3
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113387980 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110750674.3 (22)申请日 2021.07.02 (71)申请人 合肥安德科铭半导体科技有限
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