玻璃粉滚磨装置及采用该装置的混合加工设备.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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玻璃粉滚磨装置及采用该装置的混合加工设备.pdf

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本发明公开了一种玻璃粉滚磨装置，涉及半导体器件加工领域技术领域。本发明中：包括动力装置、支撑架以及混合玻璃粉用的陶瓷罐，支撑架上侧转动配置有一组转轴杆，动力装置通过传动结构与转轴杆连接。一组转轴杆的内侧相对端共同固定连接有一固定卡套结构，固定卡套结构内设有开放式的卡套内槽，陶瓷罐放置在固定卡套结构的卡套内槽中。固定卡套结构上活动安装有位于卡套内槽开口侧的活动卡套结构。本发明避免了陶瓷罐与设备的其他部位发生摩擦，可实现基本无磨损，大幅度增加了陶瓷罐以及设备的使用寿命，实现了静音作业，改良了作业环境

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113399061 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202110552243.6 B02C 17/24 (2006.01) (22)申请日 2021.05