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2023-06-22 发布于四川
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一种装载端口及控制方法，在向容器内供给气体进行净化时，防止气体向容器外泄露，在短时间内进行净化。装载端口具备停靠板、具有基板可出入的开口部的端口板和使上述停靠板在停靠位置和非停靠位置之间移动的移动机构，其中，具备气体供给喷嘴单元和按压组件，该气体供给喷嘴单元设置在上述停靠板上，向上述容器的内部供给气体，该按压组件设置在上述停靠板的上方，将载置在上述停靠板上的上述容器向下方压附，上述按压组件包括抵接部件和驱动机构，该抵接部件与载置在上述停靠板上的上述容器抵接，该驱动机构使上述抵接部件在从上述容器离

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113437002 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110293607.3 (22)申请日 2021.03.19 (30)优先权数据 2020-0517