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本发明提供一种微位移测量装置，包括光栅尺、图像处理单元及数据处理单元，所述光栅尺包括光源以及依次设置在所述光源光路上的准直装置、主光栅、副光栅、影像感测芯片；所述主光栅及副光栅分别包括第一图案以及位于所述第一图案左右两侧的多个第二图案，所述主光栅及所述副光栅两者之一能相对另一个运动发生位移，所述光源发出的光能经过所述准直装置、主光栅及副光栅后能在所述影像感测芯片上形成图像，所述图像处理单元用于对所述图像进行处理，所述数据处理单元用于根据所述图像处理单元处理的结果计算得到所述位移。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113405460 B (45)授权公告日 2023.04.14 (21)申请号 202010182848.6 WO A2,2003.10.23 (22)申请日 2
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