一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种碲化锌粉末及其靶材的制备方法.pdf

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本发明提供了一种碲化锌粉末的制备方法，包括以下步骤：将碲和锌分别置于气相沉积装置的加热区，使碲和锌不接触；对碲和锌分别进行加热，使二者进行气相反应，得到碲化锌粉末；具体的：对碲进行加热，控制温度从室温升温至1000～1050℃，升温时间70～100min；同时对锌进行加热，控制温度从室温升温至950～1000℃，升温时间70～100min。本发明通过气相反应直接制备得到了碲化锌粉末，其具有较高的纯度，可直接用于碲化锌靶材制备，得到的靶材相对密度大于98％，游离锌和游离碲小于200ppm。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113416074 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110916079.2 (22)申请日 2021.08.10 (71)申请人广东

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