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本发明公开了一种真空发生器,包括:依次串联的第一变径管、第二变径管和与工作介质输出管路连通的第三变径管,所述第一变径管与工作介质输入管路连通,所述第二变径管靠近所述第一变径管的一端设有第一混合室,所述第三变径管靠近所述第二变径管的一端设有第二混合室;一端与待抽真空装置连接的真空抽吸管路,所述第一混合室和所述第二混合室分别与所述真空抽吸管路连接且二者不连通;工作介质经所述第一变径管进入所述第一混合室内并对所述待抽真空装置进行第一次负压抽吸,经所述第二变径管进入所述第二混合室内对所述待抽真空装置进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113374743 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110789608.7 (22)申请日 2021.07.13 (71)申请人 中国
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