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本发明公开了一种精度高的真空微电子电场传感器，包括检测仪和放置组件，所述放置组件由顶盖和底盖组成所述顶盖和底盖组成的球形空间内设置有支撑架，所述支撑架上设置有若干静电感应组件，所述支撑架由中心球组成和若干定位杆，所述中心球的外壁设置有数量均为二的Z轴杆、Y轴杆和X轴杆，所述静电感应组件由远极板、近极板、弯杆和爪盘组成，两个所述远极板分别通过连接线电性连接于检测仪两端的开关上，同一轴线上的两个近极板之间通过中段线进行连接。本发明通过电压检测机构检测各位于三维坐标轴上的远极板上的电压值，以此得到三维
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113419117 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110811724.4 (56)对比文件
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