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本发明公开了一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包括一栓塞元件及一通孔元件。栓塞元件包括一钨栓塞。栓塞元件具有一横方向上的一栓塞尺寸。通孔元件电性连接在栓塞元件上。通孔元件相对于栓塞元件在一纵方向上延伸的一中心线呈非对称配置。通孔元件具有横方向上的一通孔尺寸。栓塞尺寸大于通孔尺寸。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113437046 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202010253353.8 (22)申请日 2020.04.02 (30)优先权数据
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