一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统.pdf

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本发明公开了一种基于近场无孔式探针的多模式测量方法及测量系统，第一、第二光纤和探针光纤通过第一光纤耦合器耦合连接，第一光纤与第一激光器连接，第二光纤与第一探测器连接；第三、第四光纤和第五光纤通过第二光纤耦合器耦合连接，第三光纤与第二激光器连接，第四光纤第二探测器连接，第五光纤与聚焦透镜组连接；第一光纤输出的光只能进入探针光纤，探针光纤输出的光只能进入第二光纤；第三光纤输出的光只能进入第五光纤，第五光纤输出的光只能进入第四光纤；探针光纤的探针针尖的轴线与聚焦透镜组的轴线同轴。本发明能够实现多种不同

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341180 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110567943.2 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人西安交通大学地址