智能型坐标转换校正方法.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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智能型坐标转换校正方法.pdf

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本发明提供一种智能型坐标转换校正方法，其方法包括：接收集成电路设计公司的IC设计布局图数据；通过缺陷检测机台扫描晶圆以取得缺陷扫描数据，并经过数据处理装置将缺陷扫描数据处理成缺陷文字及影像数据文件。将缺陷影像的单位尺寸及设计布局图的单位尺寸调整成一致；执行坐标转换程序，根据缺陷坐标将缺陷影像的图案的缺陷坐标转换至设计布局图中线路的相对坐标作为第一坐标。及执行坐标校正程序，包括手动比对或自动对准缺陷影像的图案与设计布局图的线路、或经由图形用户接口将缺陷影像的位置在设计布局图的线路上相对的位置标示出

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113361225 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110680060.2 H01L 21/66 (2006.01) (22)申请日 2