一种基于透明薄膜晶体管的光电探测器阵列及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.91万字
约 18页
2023-06-21 发布于四川
举报
版权申诉

一种基于透明薄膜晶体管的光电探测器阵列及其制备方法.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种基于透明薄膜晶体管的光电探测器阵列及其制备方法，属于光电探测器技术领域。所述光电探测器阵列由透明薄膜晶体管阵列以及与其漏端电极相连的光电探测器组成。本发明通过首先制备透明薄膜晶体管阵列，将其作为底板，在其上分别通过溶液法旋涂ZnO电子传输层以及PTB7‑TH:FOIC有源层，将样品盖上阵列掩模版后分别蒸镀MoO3空穴传输层和Ag金属电极，由此制得光电探测器阵列。本发明制备的光电探测器阵列具有超低的暗电流，相比于在ITO玻璃上制备的单节光电探测器暗电流密度下降两个数量级，同时透明薄膜晶体管相比

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363278 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110617238.9 (22)申请日 2021.06.03 (71)申请人吉林大学地址 13