生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法.pdf

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本申请涉及一种生物掩膜版以及在衬底上图案化的方法，属于集成电路制备技术领域。在衬底上图案化的方法，包括如下步骤：在衬底上形成光刻胶层。在光刻胶层的背离衬底的表面形成生物掩膜版。对生物掩膜版进行曝光、显影、去除生物掩膜版、刻蚀、去除光刻胶，得到图案化的衬底。其中，生物掩膜版包括磷脂双层膜和嵌入磷脂双层膜内的孔蛋白。本申请中，在衬底上进行图案化时所使用的掩膜版为生物掩膜版，其通过孔蛋白来形成图案，能够有效降低工艺成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113363140 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202110616453.7 G03F 1/76 (2012.01) (22)申请日 2021.06.