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2023-06-21 发布于四川
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基板处理装置.pdf

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本发明提供一种基板处理装置，其能够抑制形成在基板的表面上的凹凸部发生破损，且能够求出污染物的除去率。基板处理装置具备：放置台，能够使基板进行旋转；冷却部，能够向所述放置台与所述基板之间的空间供给冷却气体；液体供给部，能够向所述基板的所述放置台侧的相反面供给液体；检测部，能够检测所述液体的状态；及控制部，对所述基板的转速、所述冷却气体的流量、所述液体的供给量的至少任意一个进行控制。所述控制部根据来自所述检测部的数据，求出所述过冷却状态的液体的冻结开始时的温度，从预先求出的所述冻结开始时的温度与污染

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380659 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110210293.6 B08B 3/10 (2006.01) (22)申请日 20