一种锥形杆系金刚石点阵结构、应变传感器及测量系统.pdfVIP

一种锥形杆系金刚石点阵结构、应变传感器及测量系统.pdf

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本发明属于传感器相关技术领域,其公开了一种锥形杆系金刚石点阵结构、应变传感器及测量系统。该点阵结构单胞包括四个子单元,其中:每个子单元包括顶点相交于一点的四个锥形杆,每个锥形杆中包括两个结构相同且共底面的锥形体,子单元之间通过该子单元中的锥形杆顶点相互连接,相连的四个子单元形成金刚石点阵结构单胞,以此形成锥形杆系金刚石点阵结构。所述应变传感器包括电容以及设置在电容上电极板和下电极板之间的金刚石点阵结构,所述金刚石点阵结构由多个锥形杆系金刚石点阵结构单胞呈阵列空间排布在所述上电极板和下电极板之间。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113358018 B (45)授权公告日 2022.05.20 (21)申请号 202110730790.9 审查员 饶红 (22)申请日 2021.06.30

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