一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置.pdfVIP

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2023-06-20 发布于四川
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一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置.pdf

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本发明提供了一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法，包括步骤1：在重锤下端安装带尖籽晶，然后将所述重锤放入主炉室内部，获取带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离；步骤2：使用CCD相机获取所述带尖籽晶尖端的实际像素位置图像与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置图像，然后根据所述实际像素位置与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置计算所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离；步骤3：基于所述带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离及所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离，计算单晶炉液口距。本发明中，通过CCD相机获取的图像能够准确

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113308731 B (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202110591277.6 (56)对比文件