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本发明涉及一种悬浮运输设备和激光处理设备。根据一实施方式的悬浮运输设备包括悬浮单元,该悬浮单元用于通过将气体喷射到基板的下表面来悬浮基板。悬浮单元包括:多个喷射口,设置在面对基板的表面上并被构造成喷射气体;以及狭缝,沿竖直方向穿透悬浮单元。悬浮运输设备被构造成使得滞留在悬浮单元的面对基板的表面与基板之间的气体经由狭缝被排放到悬浮单元的下表面侧。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113307038 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110174295.4
(22)申请日 2021.02.07
(30)优先权数据
2020-0301
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