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本发明提供了一种氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜的制备方法、全固态薄膜的锂离子电池正极以及锂离子电池，涉及锂离子电池的技术领域，本发明氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜的制备方法包括如下步骤：通过磁控溅射制备非晶五氧化二铌薄膜，并在制备过程中进行氮掺杂，得到体相氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜。本发明制备方法得到的氮掺杂的非晶五氧化二铌薄膜致密、均匀并且具有明显提高的电子电导率，可以解决五氧化二铌薄膜由于电子电导率较差而无法发挥电极性能的问题。由该薄膜制备得到的锂离子电池的各层薄膜轮廓分明且具有较好的充放电可逆性、
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113308677 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110581636.X C23C 14/54 (2006.01)
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