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微电子非着陆式的反射镜系统.pdfVIP

微电子非着陆式的反射镜系统.pdf

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    本发明公开一种微电子非着陆式的反射镜系统，包括基板、至少两个支撑组件、至少两个驱动电极、旋转反射镜以及驱动电路。支撑组件与驱动电极均设置于基板上；旋转反射镜通过弹性复位组件弹性支撑于支撑组件上；驱动电路施加驱动电压时，旋转反射镜在不着陆于基板的运动范围内靠近施加有驱动电压的驱动电极，驱动电压解除时，旋转反射镜在各弹性复位组件的弹性回复力下远离驱动电极。其中，每一弹性复位组件包括至少两个由其对应的支撑组件连接到旋转反射镜的不同的边角位置的弹性复位单元，用于提供旋转反射镜至少两个转动自由度。通过上述

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113311578 A (43)申请公布日 2021.08.27 (21)申请号 20201

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